聚二甲基硅氧烷（PDMS）是一种广泛使用的柔性材料。本文在PDMS表面制备了直角微槽，并对其形貌进行了分析。结合PDMS的柔韧性，在纳秒激光进行了预应力制备PDMS表面直角微槽的实验。结果表明，随着激光扫描速度的增加（100~600mm/s），微槽两侧的微裂纹开始出现，然后逐渐减小。微槽的几何形态随扫描速度的变化而变化。最大深度为43.14米，最小值为8.41米，最大宽度为111.41米，最小值为16.18米，调整预应力角度可以调整微槽两侧微裂纹的方向、微槽的几何形态和扫描路径的偏移。应力辅助是一种控制表面形貌、帮助PDMS实现表面微纳加工功能化的简单方法。