利用皮秒激光技术在聚二甲基硅氧烷（PDMS）基片表面制备了微通道。分析了扫描速度、加工次数和平均激光功率对微通道的影响，优化了工艺参数。实验表明，在保证扫描次数的情况下，微通道的深度和宽度随着扫描速度的增加而减小。当扫描速度固定时，微通道的深度和宽度会随着扫描次数的增加而增加。同时，测试了填充方式对微通道表面的影响。在基础上，对工艺参数进行了优化，制备了高尺寸精度、高深宽比和光滑表面的微通道。最后，采用等离子体键合技术制作了微流控制器件，验证了超快激光直写PDMS微通道工艺的可靠性。